Halbleiter- Fördersysteme
Bei der Halbleiterfertigung beeinflussen Effizienz und Sauberkeit wesentlich die Produktivität. Die Halbleiter-Fördersysteme von Daifuku nutzen das von Daifuku entwickelte, kontaktfreie Induktionsstromversorgungssystem, sodass keine Verschmutzungspartikel erzeugt werden. Wir bieten Fördersysteme für buchstäblich alle Ladungsträger und Ladungsgrößen.
Zusammen mit den Halbleiterlagersystemen von Daifuku maximieren Sie mit unseren Systemen die Produktionseffizienz. Wir verfügen über eine komplette Liste von Transportprodukten, mit denen sich buchstäblich Materialien jeder Größe in jedem Ladungsträger transportieren lassen. Um eine Partikelbildung zu vermeiden, nutzen unsere Fördersysteme das berührungslose Induktionsstromversorgungssystem HID von Daifuku.
Systeme für 200-mm-Wafer
- Cleanway 250 (CLW-250)
- Cleanway 07 (CLW-07)
- Clean Lifter (CLL-40)
Systeme für 300-mm-Wafer
-
Cleanway 07 (CLW-07)
