Die Decken-Fördersysteme CLEANWAY CLW-07 und CLW-07II zeichnen sich durch maximale Flexibilität sowie Intrabay- und Interbay-Transport im selben System aus.

Durch die unterbrechungsfreie Verteil- und Zusammenführfunktion unterstützen die Systeme CLW-07 und CLW-07II eine einheitliche Direktlieferung für die Fertigung und reduzieren die Zahl der Halbfertigprodukte für Systeme mit 200- und 300-mm-Wafern.

Einsetzbar in folgenden Branchen:

• Silizium-Wafer-Produktion
• Halbleiterfertigung