Lagersysteme für die Halbleiterindustrie
Bei der Halbleiterherstellung entscheiden Sauberkeit und Effizienz wesentlich über die Produktivität. Die Halbleiter-Fördersysteme von Daifuku nutzen das von Daifuku entwickelte, kontaktfreie Induktionsstromversorgungssystem HID, sodass keine Verschmutzungspartikel erzeugt werden. Wir bieten Fördertechnik für buchstäblich alle Ladungsträger und Ladungsgrößen.
Die Lagersysteme von Daifuku sind schnell, effizient und zuverlässig. Zusammen mit Daifuku-Fördertechnik maximieren Sie mit unseren Lagereinheiten Produktionskapazität und Effizienz. Unsere Lagersysteme sind in verschiedenen Größen und für verschiedene Zwecke lieferbar:
Lagersysteme für 200-mm-Wafer
- CLEAN STOCKER CLS-40
Lagersysteme für 300-mm-Wafer
- CLEAN STOCKER CLS-50 und CLS-50II (horizontal erweiterbar)
- CLEAN MINI-STOCKER CMS-500 (auch für Zwischenetagenhöhen lieferbar)
Reticle Stocker












