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CLS-40
Mit
dem CLEAN STOCKER CLS-40 von Daifuku erhalten Sie die Geschwindigkeit,
Zuverlässigkeit und Erweiterbarkeit eines automatischen, für Reinräume
geeigneten Lagersystems für 200-mm-Wafer. Aufgrund des modularen Aufbaus kann
der CLS-40 bei Bedarf leicht horizontal erweitert werden.
Das System CLS-40 gewährleistet einen hohen Durchsatz, und das kontaktlose Induktionsstromversorgungssystem bzw. die Stromversorgung mit Stromabnehmern sichern eine zuverlässige Funktion.
Eigenschaften
Vorteile
Einsetzbar in folgenden Branchen:
- Halbleiterindustrie
- Silizium-Wafer-Produktion











