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CLS-50/CLS-50II
Der
CLEAN STOCKER CLS-50 bietet Ihnen für Ihren Reinraum für 300-mm-Wafer die
Geschwindigkeit, die Abmessungen und Erweiterbarkeit eines optimalen
automatischen Lagersystems.
Dank des modularen Aufbaus kann der CLS-50 bei Bedarf leicht horizontal erweitert werden. Der CLS-50 funktioniert dank der kontaktlosen Induktionsstromversorgung bzw. der Stromabnehmer mit Bürstenkontakten äußerst zuverlässig.
Eigenschaften
Vorteile
Einsetzbar in folgenden Branchen:
- Halbleiterindustrie
- Silizium-Wafer-Produktion











