Die Serie ZFS (Zero Footprint Storage) von Daifuku erlaubt eine Lagerung von FOUPs (Front Opening Unified Pod, Behälter für Wafer) für 300-mm-Wafer ohne Belegen wertvoller Stellfläche in den Fertigungsräumen. ZFS-Speicherflächen können links, rechts oder unter der Schiene für den CLW-07/CLW-07II montiert werden, sodass für ein bestimmtes Schienensegment die maximale Anzahl von Regalplätzen zur Verfügung steht.

Einsetzbar in folgenden Branchen:

• Halbleiterindustrie
• Silizium-Wafer-Produktion